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更新時間：2025-01-21
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長期以來，亞埃級電子顯微分辨率一直局限于像差校正電子顯微鏡，它是理解物質的原子結構和性質的有力工具。
近日，美國伊利諾伊大學香檳分校(University of Illinois Urbana–Champai)Kayla X. Nguyen，Chia-Hao Lee，Pinshane Y. Huang等，阿貢國家實驗室(Argonne National Laboratory)Yi Jiang等，在Science上發文，報道了未校正掃描透射電子顯微鏡scanning transmission electron microscope (STEM) 中的電子相干衍射成像，其深亞埃空間分辨率低至0.44埃，超過了像差校正工具的常規分辨率，并與它們的最高圖像分辨率相媲美。
Achieving sub-0.5-angstrom-resolution ptychography in an uncorrected electron microscope在未校正的電子顯微鏡中，獲得低于0.5埃分辨率的圖像。
圖1. 未校正和畸變校正的STEMs中扭曲雙層WSe2的ADF-STEM
圖2. 未校正顯微鏡下扭曲雙層WSe2
圖3. 亞埃分辨率的電子相干衍射模擬
圖4. 利用像差技術優化電子相干衍射探針
在廣泛使用的商業顯微鏡中，演示了二維轉角材料，遠遠超過了先前未校正的STEM分辨率(1到5埃)。還進一步展示了幾何像差如何為劑量有效的電子成像創造優化的結構光束。研究表明，對于深亞埃分辨率，不再需要昂貴的像差校正器。
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日本三豐Mitutoyo FS70 半導體檢測顯微鏡,半導體觀測顯微鏡 ,工作距離足夠長，倍數高，能夠應用在各種檢測場合和質量確認方面。搭配Mitutoyo的全系列可見光遠場校正鏡頭，顯微鏡系統的放大倍率可涵蓋20X到8000X，工作距離范圍從6到34mm。對焦目鏡可安裝直徑為25mm的測量分劃板來測量。50/50三端輸出顯微鏡的粗調范圍為50mm，精確調整分辨率可達0.1mm，并可同時進行視頻輸出和雙目觀測。
FS70系列半導體檢測顯微鏡單元是一款帶目鏡觀察的小巧顯微鏡單元。適于檢測金屬表面、半導體、液晶基板、樹脂等。可應用于切割、修整、校正、 給半導體電路做標記/ 薄膜(絕緣膜) 清潔與加工、液晶彩色濾光器的修復(校正錯誤)。還可用作光學觀察剖面圖以便探針分析半導體故障。
通用參數
特點
采用Mitutoyo遠場校正鏡頭
三端輸出設計可輕松接收視頻
轉盤可接最多四個物鏡
應用：
切割、修整、校正、 給半導體電路做標記
薄膜(絕緣膜) 清潔與加工、液晶彩色濾光器的修復(校正錯誤)。
還可用作光學觀察剖面圖以便探針分析半導體故障。
• 可用于紅外光學系統*。
應用：晶體硅的內部觀察；紅外光譜特征分析。
* 需要紅外光源和紅外攝像機。
• 支持BF (亮視場)、DF (暗視場)、偏振光及微分干涉對比(DIC) 的型號(產品) 可用。
• 帶有孔徑光闌的柯勒照明是表面照明光學系統上的標準配件。
• 內傾轉塔和超長工作距離的物鏡確保了顯微鏡下的高可操作性。
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參考文獻： 中國光學期刊網
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